MSR80系列高精度有铁芯直线电机驱动精密双方导轨式线性定位器;标准功能及配件:
•框架宽度为80 mm
•五个标准行程,25,35,50,100和150 mm
•重复位置精度为+/- 0.1微米
•集成磁性(1.0微米),光学(1.0,0.1,0.01微米)或模拟正弦/余弦编码器选项
•最大速度为2000 mm / sec
•可选4或8极线性电机传动系统选件
•最大有效载荷78 N
•最大推力为24 N
•集成和可调零位和限位感应
•提供标准多轴配置
•具有每个精度级的斜率校正值的激光测试数据 |