XM 系列高性能线性平移台可提供持续、可靠的动力性能，运动精度可以达到 1 nm。
·性能高，小增量运动为 1 nm
·非接触直接驱动系统，精度高、动态性能佳且操作可靠
·亚纳米级高精度玻璃标度编码器，重复精度为 80 nm
·大型无铁心高效率线性电机可大限度地减少发热
·静音抗蠕变交叉滚子轴承可确保无波纹运动
·可选花岗岩底座可确保超平稳安装条件以实现最佳性能

适用于激光加工应用
XM平移台是激光微加工、标记、切割和纳米图案形成等应用的理想平移台。此视频显示两个XM平移台堆叠在由XPS控制器驱动的2轴(XY)系统中，用于与振镜扫描器同步的复杂、平滑、高精度运动。
3轴超精密
XM系列直接驱动平移台为苛刻的应用提供高精度运动。此视频显示由两个XM平移台和一个xms-v垂直平移台组成的组件，该组件提供3个轴(XYZ)的运动，可用于聚焦、传感器测试/校准、直接激光光刻和精密组装等应用。
可以通过命令控制 1 nm位移步长
超精密设计和 Heidenhain 光栅尺使 XM 线性平移台系列能够在受控环境中通过一致的命令控制 1 nm MIM。
中心驱动、无铁、直接驱动线性电机
与螺钉驱动平移台不同，XM采用中心驱动、无铁芯线性电机作为驱动元件。由于线性电机是无摩擦的直接驱动设备，因此没有限制运动性能的侧隙或滞后、卷绕或静摩擦。线性电机驱动器还具有更高的速度、加速度和系统响应性的优点，同时没有电机电刷或驱动螺钉的磨损。超大、无铁芯电机线圈能确保零齿槽，实现平滑速度控制，与其他平移台设计相比，具有更高的效率。这将导致产生的热量显著减少，发热通常是精密运动应用的主要限制因素。为了进一步改善热管理及其对平移台性能的影响，XM 平移台还具有一个优点，其磁轨和平移台托架之间采用了成熟的全程去耦机制。
配套的抗蠕变交叉滚子轴承可实现超高精密控制
为了确保精确的轨迹控制，XM平移台具有配套的同类防蠕动式交叉滚子轴承对。这些轴承中没有再循环元件，因此可以为苛刻的扫描和检测系统提供充足的无波纹运动。而且，齿轮保持架会防止轴承罩移位，其他直线轴承产品可能出现此类移位。
面向 XY 组件的 T 形托架设计
在 XM 上使用的 T 形托架为精密 XY 组件提供了好解决方案，同时不会影响平移台预载荷。与具有 C 形托架设计的平移台相比，它更加坚固，并能适应非理想的安装条件。
具有表面平整度的花岗岩底座
表面平整度是影响运动系统定位精度和可重复定位精度的主要因素。经过研磨的花岗岩板是市面上可以买到的平坦表面之一。花岗岩具有紧密的平面度公差和极高的硬度，使其成为补充超精密线性电机XM 系列平移台的必然选择。GB 系列花岗岩底座采用3点安装，可安装在非平面平台上。边缘手柄可用于处理底座以及将底座定位在工作表面上。
微定位校准服务
对于苛刻的定位应用，提供微定位校准服务。当我们的XPS高级运动控制系统发出指令时，我们将创建、实施和验证电子补偿过程，从而提高XM 平移台的绝对位置精度。此外，还可以使用多轴微定位校准服务。测试在20.0±0.2℃下进行。 您的平移台将提供校准证书，也可根据要求提供实际数据。
用于可重复移动的高精密线性玻璃标尺
高精密线性标尺提供了精确的位置反馈。该低热膨胀标尺精确对准并安装在平移台中心，将温度变化对平移台的可重复定位性和定位精度的影响降至最低。编码器信号由具有亚纳米分辨率和小于1nm噪声的XPS 运动控制器进行插值，从而实现良好的的定位灵敏度和稳定性。绝对原点位置和极限信号集成到编码器标尺上，无需任何其他电子或机械结构，便可提高可靠性和精度。
通过精密制造实现高性能
XM平移台是由应力消除的高强度铝加工而成，能确保长期的强度和稳定性。所有关键的平移台表面都进行多次加工，然后在严格的温度和质量控制下进行精密磨削，以进一步提高整体性能和精度。
节省空间的高可靠性设计
所有XM 平移台电子设备都固定到稳定的底座，因此平移台内部没有移动电缆。这种设计紧凑，良好的可靠性和安全性。节省空间的固定读头设计避免了在平移台内部添加移动电缆，并加强了XM 平移台的稳健性和可靠性，例如将 MTBF 提高到20,000 小时。
免费提供计量报告
保证按照ASME B5.57和ISO 230-2标准测量和记录的规范值。典型性能值是保证规格的两倍