概要 |
NPX 压电叠堆线性平移台提供一、两或三轴上的长行程亚纳米分辨率的运动,所有这些均在一个紧凑型封装中实现。它们具有快速响应和快速稳定性能,使它们可以用于动态过程(如高频误差补偿、跟踪、快速步进或连续扫描)。
·亚纳米压电定位分辨率
·在 X、XY 或 XYZ 中运动
·压电行程范围可达 400 µm
·可选集成应变计,适用于闭环操作
·共振频率高,适用于高动态应用
·真空版本 |
特征 |
亚纳米定位分辨率
NPX 压电叠堆线性平移台的定位分辨率低至 0.2 nm,因此可以进行精细调节,且该分辨率仅受限于控制器件的噪声。
大范围的压电行程
针对高占空比的循环操作,NPX 压电叠堆线性平移台具有可靠性高、多层、低压压电叠堆的特性。复杂的 FEA 优化的平行四边形固态挠性导向系统可确保完美的平行运动和高达 400 µm 的行程范围。由于该平台符合无摩擦导向原理,NPX 压电叠堆线性平移台无需维护,不存在磨损。更重要的是,其输出运动灵敏度不会受机械摩擦的影响。
可选集成应变计,适用于闭环操作
闭环产品(型号以 SG 结尾)内部集成有高分辨率应变计位置传感器,其支持高精密且可重复的运动,而且还会对促动器蠕变进行补偿。该产品的装配基于完整的惠斯通电桥进行,并且对温度不敏感。闭环产品即可开环也可闭环控制。
提供真空版本
NPX 压电叠堆线性平移台具有真空兼容版本,可在真空 (10-6 Torr) 环境中使用。
X、XY 或 XYZ 轴上运动
NPX 压电叠堆线性平移台提供 X轴、XY双轴 和 XYZ三轴位移的产品。多轴 XY 和 XYZ 产品利用平行运动原理,这意味着所有促动器直接作用在移动平台上。与具有诸如单级叠堆串联运动学的其他压电系统不同,NPX 压电叠堆线性平移台形状系数小、惯性低,因而可以实现快的运动。 |
技术概述 |
型号 |
NPXYZ100 |
NPXYZ100SG |
NPXYZ100V6 |
NPXYZ100SGV6 |
RoHS |
Compliant |
Compliant |
Compliant |
Compliant |
共振频率,空载 |
500/550/480 Hz |
500/550/480 Hz |
500/550/480 Hz |
500/550/480 Hz |
共振频率,载重 105g |
190/180/250 Hz |
190/180/250 Hz |
190/180/250 Hz |
190/180/250 Hz |
共振频率,载重 300g |
110/110/150 Hz |
110/110/150 Hz |
110/110/150 Hz |
110/110/150 Hz |
共振频率,载重 80g |
210/200/300 Hz |
210/200/300 Hz |
210/200/300 Hz |
210/200/300 Hz |
垂直负载能力 |
30 N |
30 N |
30 N |
30 N |
开环分辨率 |
0.4 nm |
0.4 nm |
0.4 nm |
0.4 nm |
开环行程 |
100 µm |
100 µm |
100 µm |
100 µm |
电动轴 |
X, Y, Z |
X, Y, Z |
X, Y, Z |
X, Y, Z |
电容 |
1.8 µF |
1.8 µF |
1.8 µF |
1.8 µF |
电缆长度 |
1 m |
2 m |
1 m |
2 m |
真空兼容性 |
No |
No |
10-6 hPa |
10-6 hPa |
行程范围 |
0.1 mm |
0.1 mm |
0.1 mm |
0.1 mm |
轴向刚度 |
1 N/µm |
1 N/µm |
1 N/µm |
1 N/µm |
轴向负载 |
40/40/32 N |
40/40/32 N |
40/40/32 N |
40/40/32 N |
重量 |
165 g |
160 g |
165 g |
160 g |
闭环分辨率 |
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4 nm |
4 nm |
4 nm |
闭环行程 |
80 µm |
80 µm |
80 µm |
80 µm |
闭环重复精度,典型值 |
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30 nm |
30 nm |
30 nm |
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产品样本 |
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