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NPX压电叠堆驱动线性定位平台
概要

NPX 压电叠堆线性平移台提供一、两或三轴上的长行程亚纳米分辨率的运动,所有这些均在一个紧凑型封装中实现。它们具有快速响应和快速稳定性能,使它们可以用于动态过程(如高频误差补偿、跟踪、快速步进或连续扫描)。
·亚纳米压电定位分辨率
·在 X、XY 或 XYZ 中运动
·压电行程范围可达 400 µm
·可选集成应变计,适用于闭环操作
·共振频率高,适用于高动态应用
·真空版本

特征

亚纳米定位分辨率
NPX 压电叠堆线性平移台的定位分辨率低至 0.2 nm,因此可以进行精细调节,且该分辨率仅受限于控制器件的噪声。
大范围的压电行程
针对高占空比的循环操作,NPX 压电叠堆线性平移台具有可靠性高、多层、低压压电叠堆的特性。复杂的 FEA 优化的平行四边形固态挠性导向系统可确保完美的平行运动和高达 400 µm 的行程范围。由于该平台符合无摩擦导向原理,NPX 压电叠堆线性平移台无需维护,不存在磨损。更重要的是,其输出运动灵敏度不会受机械摩擦的影响。
可选集成应变计,适用于闭环操作
闭环产品(型号以 SG 结尾)内部集成有高分辨率应变计位置传感器,其支持高精密且可重复的运动,而且还会对促动器蠕变进行补偿。该产品的装配基于完整的惠斯通电桥进行,并且对温度不敏感。闭环产品即可开环也可闭环控制。
提供真空版本
NPX 压电叠堆线性平移台具有真空兼容版本,可在真空 (10-6 Torr) 环境中使用。
X、XY 或 XYZ 轴上运动
NPX 压电叠堆线性平移台提供 X轴、XY双轴 和 XYZ三轴位移的产品。多轴 XY 和 XYZ 产品利用平行运动原理,这意味着所有促动器直接作用在移动平台上。与具有诸如单级叠堆串联运动学的其他压电系统不同,NPX 压电叠堆线性平移台形状系数小、惯性低,因而可以实现快的运动。

技术概述
型号 NPXYZ100 NPXYZ100SG NPXYZ100V6 NPXYZ100SGV6
RoHS Compliant Compliant Compliant Compliant
共振频率,空载 500/550/480 Hz 500/550/480 Hz 500/550/480 Hz 500/550/480 Hz
共振频率,载重 105g 190/180/250 Hz 190/180/250 Hz 190/180/250 Hz 190/180/250 Hz
共振频率,载重 300g 110/110/150 Hz 110/110/150 Hz 110/110/150 Hz 110/110/150 Hz
共振频率,载重 80g 210/200/300 Hz 210/200/300 Hz 210/200/300 Hz 210/200/300 Hz
垂直负载能力 30 N 30 N 30 N 30 N
开环分辨率 0.4 nm 0.4 nm 0.4 nm 0.4 nm
开环行程 100 µm 100 µm 100 µm 100 µm
电动轴 X, Y, Z X, Y, Z X, Y, Z X, Y, Z
电容 1.8 µF 1.8 µF 1.8 µF 1.8 µF
电缆长度 1 m 2 m 1 m 2 m
真空兼容性 No No 10-6 hPa 10-6 hPa
行程范围 0.1 mm 0.1 mm 0.1 mm 0.1 mm
轴向刚度 1 N/µm 1 N/µm 1 N/µm 1 N/µm
轴向负载 40/40/32 N 40/40/32 N 40/40/32 N 40/40/32 N
重量 165 g 160 g 165 g 160 g
闭环分辨率   4 nm 4 nm 4 nm
闭环行程 80 µm 80 µm 80 µm 80 µm
闭环重复精度,典型值   30 nm 30 nm 30 nm
 
 
 
 
 
 
 
 
 

产品样本
   
   
   
   
   
   
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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