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MFA紧凑型全钢补偿螺杆驱动定位平台
概要
MFA 是 Newport 钢位移台系列的成员之一,采用紧凑的封装,为出色的热稳定性、刚度和载重能力而生。相对于位移台的尺寸,微型 MFA 是一种经济选择,可在空间受限的应用中实现精密运动。
特征

全钢结构
全钢机身允许使用紧凑的设计,使之具有良好的刚度重量比、高的热稳定性和载重能力。
真空兼容版本
MFA-CCV6 是 MFA 的真空兼容版本,最低可兼容 10-6 hPa。
双排线性滚珠轴承滑轨
双排线性滚珠轴承滑轨提供高的有效载荷能力、长的使用寿命和精确的线性轨迹。
运行端点限位开关
平移台两端具有运行端点限位开关,以防止平移台因超程而受损。
增强的可重复性
MFA 包括一个侧隙补偿丝杠,增加了可重复性。为了实现更高的可重复性,MFA-CC 使用了一个 2,048 cts/rev 的电机安装式旋转编码器。
免费提供计量报告
证根据 ASME B5.57 和 ISO 230-2 标准测量和记录的规格值。典型性能值比可保证值高出两倍。

应用领域
 
技术概述
型号 MFA-CC MFA-CCV6 MFA-PPD
行程范围 25 mm 25 mm 25 mm
最大速度 2.5 mm/s 1.25 mm/s 1 mm/s
中心负载 50 N 25 N 50 N
轴向负载 (+Cx) 10 N 5 N 10 N
逆轴向负载 (-Cx) -10 N -5 N -10 N
螺纹类型 M2 and M3 M2 and M3 M2 and M3
最小位移增量 0.10 µm 0.10 µm 0.10 µm
精度,典型值 ±0.7 µm ±1.0 µm ±0.9 µm
精度,保证值 ±3.0 µm ±3.0 µm ±3.0 µm
单向重复精度,典型值 ±0.08 µm ±0.08 µm ±0.12 µm
单向重复精度,保证值 ±0.15 µm ±0.15 µm ±0.25 µm
双向重复精度,保证值 ±0.75 µm ±1.0 µm ±0.75 µm
双向重复精度,典型值 ±0.15 µm ±0.2 µm ±0.2 µm
俯仰,典型值 ±25 µrad ±25 µrad ±25 µrad
俯仰,保证值 ±100 µrad ±100 µrad ±100 µrad
俯仰顺应性 80 µrad/Nm 80 µrad/Nm 80 µrad/Nm
偏摆,典型值 ±30 µrad ±30 µrad ±30 µrad
偏摆,保证值 ±50 µrad ±50 µrad ±50 µrad
偏摆顺应性 80 µrad/Nm 80 µrad/Nm 80 µrad/Nm
滚转顺应性 60 µrad/Nm 60 µrad/Nm 60 µrad/Nm
原点重复精度 ±2.5 µm ±2.5 µm ±2.5 µm
电缆长度 3 m 1.5 m 3 m
真空兼容性 No 10-6 hPa No
MTBF 10,000 h (25% load, 30% Duty cycle) 10,000 h (25% load, 30% Duty cycle) 10,000 h (25% load, 30% Duty cycle)
RoHS Compliant Compliant Compliant
 
 
 
 
 
 
 
 
 

产品样本
   
   
   
   
   
   
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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