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ILS无间隙滚珠丝杠驱动定位平台
概要

ILS 系列是耐用的亚微米分辨率线性平移台,采用轻巧、坚硬的铝制机身和可靠的组件,适用于高占空比的应用。
·刚性,FEM 优化的挤压铝制机身,可防止热弯曲效应
·预加载,无间隙滚珠丝杠传动可实现快速移动,步进时间和稳定时间较短
·精密循环滚珠轴承滑块可实现精确的线性运动,防止出现滚珠轴承罩移位
·50-250mm 的行程
·轻工业应用中长期使用的理想选择
·即插即用 - ESP 兼容

特征

无侧隙滚珠丝杠
ILS 平移台包含有预装的无侧隙滚珠丝杠,可实现具有较短步进时间和稳定时间的平滑且快速的运动。螺杆型材的设计在于减少热效应,从而延长平移台的使用寿命。
循环滚珠轴承滑块
借助精确的线性轨迹,循环滚珠轴承滑轨可提供良好的有效载荷和长的使用寿命。它可以缓解滚珠轴承罩移位的问题,该问题通常出现在线性滚珠轴承或交叉滚子轴承上。
FEM - 优化的铝制机身
优化的铝制机身可实现极高的刚性,以及在不影响重量的情况下最小化双金属弯曲。坚固的机身减少了负载下的偏移。
集成编码器
4000 pts/rev 的编码器直接安装在螺杆上,这样可防止出现螺杆/电机耦合误差,从而提高平移台运动精度。HA 版本具有 0.3 µm MIM 的集成线性标度。
-旋转编码器
-线性编码器
免费提供计量报告
保证根据 ASME B5.57 和 ISO 230-2 标准测量和记录的规格值。典型性能值比可保证值高出两倍。
微定位校准服务
对于关键的定位应用,Newport 提供微定位校准服务。当我们的 XPS 高级运动控制系统发出指令时,我们将创建、实施和验证电子补偿过程,从而提高所选 ILS-HA 系列平移台的绝对位置精度。此外,还可以使用多轴微定位校准服务。 测试在20.0±0.2℃下进行。我们将提供您的平台校准证书,也可根据要求提供实际数据。
其他特性
牢固的顶盖可防止传动系统的损坏,并且可使其免受灰尘和碎屑的影响。ILS 系列平移台还配有实现可重复初始化的位于行程中心的原点、防止超程的限位开关以及用于平稳紧急制动的弹性行程终点阻尼器。

技术概述
型号 ILS100CC ILS150CC ILS200CC ILS250CC ILS50CC ILS100HA ILS150HA ILS200HA ILS250HA ILS50HA
行程范围 100 mm 150 mm 200 mm 250 mm 50 mm 100 mm 150 mm 200 mm 250 mm 50 mm
最大速度 1 100 mm/s 100 mm/s 100 mm/s 100 mm/s 100 mm/s 100 mm/s 100 mm/s 100 mm/s 100 mm/s 100 mm/s
最小位移增量 1.0 µm 1.0 µm 1.0 µm 1.0 µm 1.0 µm 0.30 µm 0.30 µm 0.30 µm 0.30 µm 0.30 µm
中心负载 250 N 250 N 250 N 250 N 250 N 250 N 250 N 250 N 250 N 250 N
轴向负载 (+Cx) 40 N 40 N 40 N 40 N 40 N 40 N 40 N 40 N 40 N 40 N
逆轴向负载 (-Cx) -40 N -40 N -40 N -40 N -40 N -40 N -40 N -40 N -40 N -40 N
精度,典型值 ±0.8 µm ±1.5 µm ±1.2 µm ±1.7 µm ±0.6 µm ±0.6 µm ±1.2 µm ±0.8 µm ±1.5 µm ±0.3 µm
精度,保证值 ±2.0 µm ±2.5 µm ±3.7 µm ±5.0 µm ±1.5 µm ±1.5 µm ±2.0 µm ±3.0 µm ±3.75 µm ±1.25 µm
单向重复精度,典型值 ±0.25 µm ±0.25 µm ±0.35 µm ±0.35 µm ±0.20 µm ±0.20 µm ±0.20 µm ±0.20 µm ±0.20 µm ±0.20 µm
单向重复精度,保证值 ±0.50 µm ±0.50 µm ±0.5 µm ±0.5 µm ±0.50 µm ±0.08 µm ±0.08 µm ±0.08 µm ±0.10 µm ±0.08 µm
双向重复精度,典型值 ±0.40 µm ±0.45 µm ±0.45 µm ±0.60 µm ±0.40 µm ±0.10 µm ±0.15 µm ±0.15 µm ±0.15 µm ±0.10 µm
双向重复精度,保证值 2 ±1.0 µm ±1.0 µm ±1.0 µm ±1.0 µm ±1.0 µm ±0.35 µm ±0.35 µm ±0.35 µm ±0.35 µm ±0.35 µm
俯仰,典型值 ±20 µrad ±37 µrad ±37 µrad ±42 µrad ±15 µrad ±25 µrad ±50 µrad ±35 µrad ±45 µrad ±17 µrad
俯仰,保证值 ±50 µrad ±75 µrad ±100 µrad ±125 µrad ±25 µrad ±50 µrad ±75 µrad ±100 µrad ±125 µrad ±25 µrad
俯仰顺应性 10 µrad/Nm 10 µrad/Nm 10 µrad/Nm 10 µrad/Nm 10 µrad/Nm 10 µrad/Nm 10 µrad/Nm 10 µrad/Nm 10 µrad/Nm 10 µrad/Nm
偏摆,典型值 ±17 µrad ±20 µrad ±25 µrad ±25 µrad ±12 µrad ±17 µrad ±25 µrad ±25 µrad ±30 µrad ±7 µrad
偏摆,保证值 ±37 µrad ±65 µrad ±80 µrad ±95 µrad ±25 µrad ±37 µrad ±65 µrad ±80 µrad ±95 µrad ±25 µrad
偏摆顺应性 10 µrad/Nm 10 µrad/Nm 10 µrad/Nm 10 µrad/Nm 10 µrad/Nm 10 µrad/Nm 10 µrad/Nm 10 µrad/Nm 10 µrad/Nm 10 µrad/Nm
滚转顺应性 15 µrad/Nm 15 µrad/Nm 15 µrad/Nm 15 µrad/Nm 15 µrad/Nm 15 µrad/Nm 15 µrad/Nm 15 µrad/Nm 15 µrad/Nm 15 µrad/Nm
原点重复精度 ±0.5 µm ±0.5 µm ±0.5 µm ±0.5 µm ±0.5 µm ±0.1 µm ±0.1 µm ±0.1 µm ±0.1 µm ±0.1 µm
电缆长度 3 m 3 m 3 m 3 m 3 m 3 m 3 m 3 m 3 m 3 m
螺纹类型 3 2001/4/20 2001/4/20 2001/4/20 2001/4/20 2001/4/20 2001/4/20 2001/4/20 2001/4/20 2001/4/20 2001/4/20
重量 4.5 kg 4.8 kg 5.1 kg 5.4 kg 4.2 kg 4.5 kg 4.8 kg 5.1 kg 5.4 kg 4.2 kg
MTBF 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) 20,000 h (25% load, 30% duty cycle) 20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
RoHS Compliant Compliant Compliant Compliant Compliant Compliant Compliant Compliant Compliant Compliant
 
 

产品样本
   
   
   
   
   
   
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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