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Agilis压电电机驱动定位平台
概要

Agilis 压电电机线性平移台是配备了专利的压电电机的高精度微型平移台。凭借高的调节灵敏度、便捷的可编程操作以及紧凑的设计,Agilis 平移台以高品质手动平移台的价格实现了出色的运动性能。
·支持小的最小增量运动
·不使用时具备一劳永逸的稳定性
·无波纹和低摩擦行程
·适用于直读编码器和 CONEX 控制器
·适用于真空兼容版本

特征

50 nm 最小增量运动
Agilis 专有压电技术提供 50 nm 的增量运动能力,使其成为灵敏对准和调整的理想选择。
集成有线性编码器版本
该CONEX-AG-LS25-27P 集成有直读线性编码器,可提供亚微米级双向重复精度。对于定位时的稳定性,比如当平移台处于设定的位置公差内时,用户可以通过调整死区值来停止其抖动。
真空兼容版本
Agilis 线性平移台具有真空兼容版本,该版本可以在真空(10-6 Torr)环境中使用。
多轴配置
对于 XZ 和 XYZ 配置,您可以使用 339233 支架。对于 AG-LS25 平移台的 XY 组件,使用每个平移台附带的 4 个 TC M3x4 螺钉。
一劳永逸的长期稳定性
Agilis 压电电机直接耦合到移动托架,没有中间螺钉或齿轮,避免了传动系统中的耦合问题。停顿时,该电机的夹持力会将当前的位置锁住,实现真正的"一劳永逸"的长久稳定性。
无波纹和低摩擦行程
具有热匹配的不锈钢设计和精密制造的轴承表面的 Agilis 线性平移台可实现无波纹、低摩擦的线性位移,和任何轴上的角度偏差都可小于 100 µrad。

技术概述
型号 AG-LS25 AG-LS25-27 AG-LS25-27V6 AG-LS25V6
行程范围 12 mm 27 mm 27 mm 12 mm
最小位移增量 0.05 µm 0.1 µm 0.1 µm 0.05 µm
最大速度 0.5 mm/s 0.5 mm/s 0.5 mm/s 0.5 mm/s
垂直负载能力 2 N 1.5 N 1.5 N 2 N
轴向负载 2 N 1.5 N 1.5 N 2 N
真空兼容性     10-6 hPa 10-6 hPa
夹持力 3 N 3 N 3 N 3 N
材料 Stainless Steel Stainless Steel Stainless Steel Stainless Steel
俯仰 200 µrad 200 µrad 200 µrad 200 µrad
偏摆 200 µrad 200 µrad 200 µrad 200 µrad
电缆长度 1.2 m 1.2 m 1.2 m 1.2 m
工作温度 +10 to +35 ?C +10 to +35 ?C +10 to +35 ?C +10 to +35 ?C
重量 70 g 125 g 125 g 70 g
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

产品样本
   
   
   
   
   
   
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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