高精度位置定位要求 +/-2.5um/400mm,激光调制输出。
全闭环位置控制的PID整定。 OOP功能:基于位置信号的同步脉冲输出。 图形处理软件:图像灰度信号与激光光强信号的PID算法。 大量图形数据的传输处理(模拟双端RAM技术
Parker 的多轴运动控制器ACR9000+400LXR直线电机X-Y平台。